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'에피택시장비'에 대한 전략가이드

작성자 나노인

등록일 2015.08.03

조회수 2124

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기술명 에피택시장비 나노분류 나노장비/기기

에피택시장비 정의 및 관련자료

 

에피택시장비 정의

어떤 결정의 특정면 위에 다른 결정의 표면상이 붙어,  비슷하나 약간 다른 방위 관계를 이루면서 단결정 박막으로 성장할 수있는 에피택시(Epitaxy)층을  형성하는 장비
 

관련 SMK

  • 양자점 재료 증착박막 형성방법 및 그 생성물
  • 바이어스를 이용한 막 증착 방법
  • 플라스마 증착 장치 및 방법
  • 반도체 나노소재를 이용한 광전 변환 장치 및 그 제조 방법
  • 실리콘 나노 점을 이용한 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법
  • 나노선 형성방법과 나노선이 형성되어 있는 적층구조물 및 이를 이용한 수직형 반도체 소자와 인터커넥트 적층구조물 제조방법과수직형 반도체 소자와 인터커넥트 적층구조물
  • 반도체 발광소자용 지지기판 및 상기 지지기판을 이용한 고성능 수직구조의 반도체 발광소자
  • 이중 히트 씽크층으로 구성된 지지대를 갖춘 고성능 수직구조의 반도체 발광소자
  • 재설정 가능한 반도체 소자
  • 수직구조를 갖는 반도체 발광소자 제조용 지지기판, 이를 이용한 수직구조를 갖는 반도체 발광소자 제조방법 및 수직구조를 갖는반도체 발광소자
 
 

Summary

 

에피택시장비 기술적 특징 및 시장동향

  • 에피택시장비의 대부분이 반도체 제조 공정에 사용되며, 타 장비와 비교하여 정교한 성장이 가능하기 때문에 소자의 특성을 향상시키기 위해 많이 사용됨
  • 특히, 일반적인 실리콘 공정에 에피택시 공정을 적용할 경우 결정 성장 상태를 개선시키며, 불순물의 농도 제어가 용이하여 다양한분야 및 제품에 적용되어 사용되고 있음
  • 에피택시 장비는 박막 재료와 기판의 동일 여부 혹은 기판과 접촉되는 증착물의 상태 변화에 따라 호모 에피택시(Homo epitaxy),헤테로 에피택시(Hetero epitaxy)나 액상 에피택시(Liquid Phase epitaxy), 기상 에피택시(Vapor Phase epitaxy), 분자선 에피택시(Molecular Beam epitaxy)로 구분됨
 

시장규모 및 전망

  • 에피택시장비 시장은 2013년 약 30억 4,000만 달러였으며, 꾸준히 상승하여 2018년에는 약 35억 7,800만 달러의 규모를 형성할것으로 전망됨 (SNSTelecom, 2014)
  • 제작 시 에피택시장비를 활용하는 LED시장규모는 2013년 128억 달러에서 2018년 259억 달러까지 증가할 것으로 전망됨(SNEResearch, 2013)
 

주요 국내업체 동향

  • 국내 에피택시 장비의 주요 제작업체로는 유진테크, 국제엘렉트릭코리아, 그랜드텍, LIG에이디피 등이 있으며, 에피택시 기술이반도체장비, 레이저, LED 등 다양한 분야에 사용∙적용이 가능하여 에피택시 기술 기반의 응용제품 개발이 활발히 이루어지고 있음
  • 에피택시 성장법은 스카치 테입법 및 화학기상증착(CVD) 성장법 보다 재료는 고가이면서, 제작 방법이 어려워 관련업체들이 이를극복하기 위한 연구 개발을 진행 중
  • 최근 고농도 도핑 반도체 제작을 위한 분자빔 에피택시((Molecular beam epitaxy) 연구개발 활동이 활발히 이루어지고 있으며, 이는적외선 레이저와 감지기로 구성되어 모든 영역대의 파장을 감지하는데 효과적임
 

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