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KC 보고서

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'스퍼터 장비'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2015.07.13
  • 조회수4205

기술명

스퍼터 장비

나노분류

나노장비/기기

스퍼터 장비 정의 및 관련자료

 

스퍼터 장비 정의

반도체, 플라스틱, 섬유, 세라믹 등의 다양한 소재에 금속 또는 산화물 등을 일정 두께의 균일한 박막으로 코팅하는 진공 박막증착장비
 

관련 SMK

  • 전기아연도금강판의 코팅층에 대한 기계적 특성 평가 방법
  • 바이어스를 이용한 막 증착 방법
  • 플라스마 증착 장치 및 방법
  • 양자점 재료 증착박막 형성방법 및 그 생성물
  • 광학적 특성을 이용한 분석용 센서를 위한 기판 제조 방법 및 그 기판
  • 표면처리된 잉크젯 프린트용 기판
  • 전도성 고분자 및 컴포지트 박막으로 구성된 투명 전극필름 또는 유기태양전지의 활성층 및 이의 제조방법
 
 

Summary

 

스퍼터 장비 기술적 특징 및 시장동향

  • 나노관련 기술장비 중 고부가가치 장비분야에 속하는 스퍼터 장비는 반도체의 고집적화 및 소형화에 따라 반도체 패키징 방식도플립칩 및 3D 패키징 방식으로 변화하는 추세에 제품수요가 증대되고 있음
  • 국내 한 업체는 최근 최신 300mm 웨이퍼 패키징 공정에 필요한 장비인 범프 스퍼터를 개발하였으며, 기존 와이어 본딩방식을대체하는동시에 관련 장비시장의 제품수요 급증에 따른 반도체 장비 매출의 비중이 대폭 증가할 것으로 기대됨
  • 외산 장비업체가 독점하고 있는 스퍼터 장비 및 관련 장비기술의 국산화를 기반으로 급속열처리 장비 및 레이저열처리 장비 등 신규반도체 장비에 대한 R&D가 더욱 활발해 질 것으로 예상됨
 

시장규모 및 전망

  • SNS Telecom(2014)에 따르면 ’13년 43억 5,000만 달러이던 스퍼터 장비의 시장은 향후 5년간 평균 3.42%의 성장세를 보이며 ’18년약 51억 4,600만 달러의 시장을 형성할 것으로 전망됨
  • 스퍼터 및 웨이퍼 등 반도체 제조에 사용되는 전체 반도체 장비 시장은 2014년 384억 달러를 기록할 것으로 예상되며, 2015년은전년대비 10.8%가 증가한 426억 달러를 초과할 것으로 예상되고 있음
 

주요 국내업체 동향

  • 국내 스퍼터 장비 관련 주요 제작업체로는 AP시스템즈, ㈜에스엔텍, ㈜이루자, 아바코 등이 있으며, 디지털 기기의 경박단소화에따른 금속 입자 표면의 증착과 얇고 정밀한 표면처리가 가능한 기술 활용이 증가함에 따라, 국내 업체의 시장 진입 노력이 활발히이루어지고 있음
  • TFT-LCD용 스퍼터 장비는 국내기업인 AVACO社에서 국산화하여 LG Display에 납품하고 있으며, 반도체용 스퍼터 장비의 경우Applied Materials社 등으로부터 전량 수입에 의존하는 상황
  • 국내 스퍼터 장비업체는 반도체 제조업체 등과 협력을 이루어 새로운 부가가치 창출을 위한 응용제품 제조에 박차를 가하고 있으며,이를 토대로 스퍼터 장비의 국산화 개발을 적극 추진 중에 있음
 

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