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KC 보고서

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'식각장비'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2015.07.06
  • 조회수3688

기술명

식각장비

나노분류

나노장비/기기

식각장비 정의 및 관련자료

 

식각장비 정의

반도체 소자에 필요한 각종 박막을 여러 가지 식각공정 방법 중 적절한 방법을 선택하여 Wafer 표면에 원하는 패턴을 정확한형태로 제작하기 위하여 선택적으로 불필요한 부분만 제거해 내는 공정장비
 

관련 SMK

  • 탄소 나노튜브를 이용한 절연층의 식각 방법 및 이를 이용하여 제조된 나노 구조물
  • 미세유체제어기술 기반으로 한 난모세포 또는 난자의 핵 제거 시스템
  • 나노선 필터, 그 제조방법 및 흡착물 제거방법, 이를 구비한 필터링 장치
  • 에어로졸 젯 인쇄법을 이용한 유기태양전지 광활성층의 제조방법
  • 센서용 산화물 반도체 나노섬유 제조 방법 및 그를 이용한 가스 센서
  • 반도체 나노소재를 이용한 광전 변환 장치 및 그 제조 방법
  • 실리콘 나노 점을 이용한 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법
  • 나노선 형성방법과 나노선이 형성되어 있는 적층구조물 및 이를 이용한 수직형 반도체 소자와 인터커넥트 적층구조물 제조방법과수직형 반도체 소자와 인터커넥트 적층구조물
  • 저온에서 소결 가능한 반도체 전극용 조성물 및 이를 이용한 염료감응 태양 전지
  • 반도체 막대를 구비하는 태양 전지, 이의 제조방법, 및 태양 전지-열전 소자 통합 모듈
  • 반도체 나노소재를 이용한 광전 변환 장치 및 그 제조 방법
  • 유기 반도체/절연성 고분자 블렌드를 이용한 유기 반도체 나노섬유분산체 제조방법 및 이를 이용하여 제조되는 유기박막 트랜지스터
 
 

Summary

 

식각장비 기술적 특징 및 시장동향

  • 건식식각(Dryetch) 장비는 반도체 공정 중 노광 공정을 거친 후, 패턴에 따라 식각을 하는 공정
  • 과거 습식 식각(Wet etch) 장비에 머물던 시장은 미세공정화 되면서 건식 시각 시장으로 빠르게 변화하고 있음
  • 건식 식각은 좁은 회로폭 내에서도 건식 가스의 직진성이 보장되므로, 미세한 패턴을 식각하는데 유리하기 때문에 식각시장은습식에서 건식으로 이동하고 있음
 

시장규모 및 전망

  • 건식 식각장비는 전공정 장비 시장 중 2번째로 큰 시장으로 ’10년 기준으로 전세계 시장 규모가 약 29억 달러로 추정됨
  • 시장 성장성 관점에서 보면, 세계 식각 장비 시장은 연평균 성장률 6.13%(’09년~’12년)이며, 국내시장의 경우 연평균 21.6%(’09년~’12년)수준으로 성장할 것으로 전망됨
  • 전후방 연관 산업의 파급효과가 큰 차세대 성장 산업으로 주목 받고 있음에 따라 높은 성장성을 보유하고 있음
 

주요 국내업체 동향

  • ’13년 장비업계가 실적 회복세를 나타냈으며, 국내 반도체ㆍ디스플레이 대기업들의 대중국 투자 등이 견인했음
  • 삼성전자는 시안 반도체 공장가동을 앞두고 장비를 대거 발주했고, 연말에는 3D낸드플래시 관련 투자도 집중됐으며, 삼성디스플레이,LG디스플레이는 각각 쑤저우, 광저우 8세대 액정표시장치(LCD) 공장을 건설하고 장비 투자에 나섬
  • 디스플레이 업계 국내 LCD공장 투자가 일단락 되면서 반도체 업계의 신규 투자도 제자리 걸음을 하면서 장비업계는 생존을 위해수요처 다각화, 신규 사업 진출을 하며 체질 개선에 나섰으며, 체질 개선에 성공한 장비업계는 대기업의 중국 투자를 통하여 실적을개선하였음
  • 장비업계는 ’14년 OLED분야에서 신규 투자가 재개되면서 장비 수주가 늘어나 실적 개선을 기대하고 있음
 

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