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'나노급 높이 및 두께 측정 장치'

작성자 나노인

등록일 2014.02.17

조회수 963

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기술명 나노급 높이 및 두께 측정 장치 나노분류 나노장비/기기
기술보유 이름: 엄태봉 /  소속: 한국표준과학연구원 /  연락처: 042-868-5100 /  이메일: tbeom@kriss.re.kr
기술사업화지원 이름: 서일원 /  소속: 기술사업화센터 /  연락처: 042-868-5410 /  이메일: veny@kriss.re.kr
희망거래유형 기술매매(특허양도, 기술출자 등), 기술이전, 수탁연구
키워드 게이지블럭, 지동측정, 높이, 두께
기술내용
- 본 기술은 높이 및 두께 측정에 관한 것으로 나노미터의 분해능을 갖고 자동으로 측정할 수 있는 기술에 관한 것임. 주 측정 대상은 게이지 블록(gauge block)으로 게이지 블록을 자동 혹은 수동으로 비교 교정 할 수 있으며 모든 진행 과정은 컴퓨터에서 통제하도록 되어 있으며 온도 자동 측정 보정, 최종 결과 및 불확도 평가, 성적서 작성 등이 자동으로 이루어지도록 구성
- 기존의 게이지블록 비교기는 수동으로 측정하도록 되어 있으며 오직 기준기와 피교정기의 높이 차이만을 표시하도록 되어 있으나, 실제의 측정에서는 별도의 온도 측정장치를 사용하여 온도측정 후 열팽창 보정을 하여야하고 측정압에 따른 탄성 변형 보정 등을 수행하도록 되어 있음
- 특히 모등 측정이 수동으로 이루어져 숙련된 측정자가 필요하고 반복측정에 따른 피로감이 있음
- 본 기술은 게이지 블록의 자동 이송을 통한 자동측정이 가능하고 일련의 측정과정이 컴퓨터에서 통재하고 있기 때문에 정확하고 빠른 측정이 가능
 
응용분야
기반기술/측정 및 계측을 요하는 정밀가공 기계 분야

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