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나노융합기술 100선

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'FPD 진공 이송용 고정밀 자기부상 이송 기술'

  • 작성자나노인
  • 등록일 2014.02.14
  • 조회수2053

기술명

FPD 진공 이송용 고정밀 자기부상 이송 기술

나노분류

나노장비/기기

희망거래유형

기술이전

키워드

진공 이송, 자기부상, 마이크로급 서보제어, 선형전동기, 섹션절환

기술보유

이름: 이기창 /  소속: 한국전기연구원 /  연락처: 055-280-1543 /  이메일: leekc@keri.re.kr

기술내용
- 본 기술은 진공 체임버 내 장거리 수십m 레일에서 자기부상을 사용하여 마이크로미터급 정밀 서보 제어 달성이 가능함
- 진공중의 수 십 m 이상에서, 수십 및 수백 kg을 비접촉 자기부상 청정 이송 기술로 정밀(수 μm)위치 이송기술로 진공 적용 가능, 비접촉 자기부상, 고중량, 장거리, 마이크로급 서보제어 가능 등의 장점을 가짐
 
응용분야
- 활용 예측시장 : 차세대 FPD 제조 장비, 정밀 물류 이송장비, 공장자동화 설비 등
- 제품 : 차세대 OLED 제조 공정 장비의 이송시스템
           고속, 고정밀 물류 이송 장치
           비접촉 자기부상 반송장치
           그 외 진공공정 장치

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