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나노융합기술 100선

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'Sub-30nm급 대면적 나노임프린트장비 기술'

  • 작성자나노인
  • 등록일 2014.02.10
  • 조회수1976

기술명

Sub-30nm급 대면적 나노임프린트장비 기술

나노분류

나노장비/기기

희망거래유형

기술이전

키워드

나노임프린트, 나노-마이크로 하이브리드패터닝, 나노스테이지

기술보유

이름: 이재종 /  소속: 한국기계연구원 /  연락처:  /  이메일: jjlee@kimm.re.kr

기술내용
- 나노 임프린트 기술은 전 세계적으로 많은 연구를 통하여 최근 기술적 진보를 이루고 있고, 수십 nm수준까지 6인치 이상에서 균일한 패터닝이 가능함으로 인해서 HDD, 나노바이오센서, 태양전지 및 나노-마이크로 채널을 이용한 micro, nano fluidic 분야에는 광범위하게 적용되고 있으며, 고효율 LED 소자 제작을위한 광결정 제작 분야에서는 거의 상용화 공정으로 자리 매김을 하고 있음. 또한 디스플레이 분야에서도 WGP (wire grid polarizer), TSP 반사방지막 등에 응용이 가능한 기술
- 6인치 웨이퍼에서 Sub-30nm 패터닝, 1nm 분해능 나노스테이지, 5nm Overlay/alignment, UV/Thermal 하이브리드 나노임프린트 공정 가능
- 6인치 웨이퍼에서 UV 및 열(thermal)을 겸용한 하이브리드 방식으로 Sub-30nm급 나노구조패턴을 대량으로 제작할 수 있는 나노임프린트 장비기술임
- 본 기술은 외국기술과 동등수준이며, 롤 나노임프린트장비기술로 확장 가능한 기술임
 
응용분야
- 개발된 sub-30nm급 대면적 나노 임프린트 장비 기술은 HDD, 나노바이오센서, 태양전지 및 나노-마이크로 채널을 이용한 micro, nano fluidic 분야에는 광범위하게 응용 가능함
- 고효율 LED 소자 제작, WGP (wire grid polarizer), TSP 반사방지막 등에 응용 가능함
- Al 전극패터닝 및 나노-마이크로 하이브리드구조 패터닝이 가능함

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