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SMK 보고서

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'대면적 이미지 획득용 전기공명 모드 주사탐침 현미경의 팁 구조체 및 이것의 제조방법'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2019.12.30
  • 조회수66

특허명

대면적 이미지 획득용 전기공명 모드 주사탐침 현미경의 팁 구조체 및 이것의 제조방법

나노분류

나노장비/기기

출원번호

10-2016-003741

출원인

연세대학교 산학협력단

■ 대면적 이미지 획득용 주사탐침 현미경의 팁 구조체 및 제조방법


 ○ 기존 원자력현미경의 이미지와 속도를 대폭 개선한 주사탐침 현미경(SPM)의 팁 구조체

 ○ 다수의 탐침이 배열된 팀 어레이가 부착되고 복수의 층으로 구성된 커패시터가 기존의 캔틸레버를 대체하여 신속하고 정밀한 대면적 이미지 제공

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