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SMK 보고서

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'복수의 AFM 탐침을 가지는 나노 구조체 스캔장치와 방법'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2019.12.30
  • 조회수60

특허명

복수의 AFM 탐침을 가지는 나노 구조체 스캔장치와 방법

나노분류

나노장비/기기

출원번호

10-2015-0020674

출원인

한국과학기술원

■ 복수의 AFM 탐침을 가지는 나노 구조체 스캔장치와 방법


 ○ 서로 다른 해상도를 갖는 복수의 AFM 탐침을 사용하여 나노 구조체에 대한 다양한 해상도의 측정이 가능

 ○ 고해상도 AFM 탐침을 이용하여 나노 구조체의 시편상 위치와 형태를 확인한 후, 원자해상도 AFM 탐침을 통해 3차원 형상을 측정



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