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'초고감도 금속산화물 가스센서 및 그 제조방'에 대한 전략가이드

작성자 나노인

등록일 2012.06.12

조회수 786

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특허명 초고감도 금속산화물 가스센서 및 그 제조방 나노분류 나노장비/기기
출원번호 10-2006-0113002 출원인 한국과학기술연구원
본 발명은 센서 전극 위에 금속산화물 전구체와 고분자를 포함하는 혼합 용액을 방사하여 상기 금속산화물 전구체와 고분자가 혼합된 복합섬유를 형성하는 단계와, 상기 복합섬유를 열압착 또는 열가압하는 단계와, 상기 열압착 또는 열가압된 복합섬유를 열처리하여 상기 복합섬유에서 상기 고분자를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 본 발명에 의한 가스센서는 나노섬유 사이의 거대(macro) 기공과 나노로드들 및/또는 나노그레인들 사이의 미세(meso) 기공을 함께 가짐으로써, 가스 확산의 극대화 및 표면적의 극대화를 달성할 수 있다. 또한, 금속산화물 박층과 센서 전극과의 접착성의 급격한 증대를 통해 기계적, 열적, 전기적 안정성이 높은 초고감도 센서를 구현할 수 있다.

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