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'전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 '에 대한 전략가이드

작성자 나노인

등록일 2012.06.12

조회수 696

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특허명 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 나노분류 나노장비/기기
출원번호 10-2004--0112159 출원인 학교법인 포항공과대학교
본 발명은 평면형 전계 효과 트랜지스터를 제작하고, 그 위에 전도체의 탄소 나노 튜브를 제작함으로써, 날카로운 팁이 형성됨과 아울러 전기적 특성 또한 증가시킨 스캐닝 프로브 마이크로 스코프의 탐침을 제공하며, 이를 위하여, 본 발명은 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 제 1 단계; 상기 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브를 성장시키기 위하여 준비하는 제 2 단계; 그리고 상기 준비된 전계 효과 트랜지스터의 게이트 전극 상부 일단에 탄소 나노 튜브생성하는 제 3 단계; 를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 채널 구조를 갖는 탐침의 제조방법을 제공한다.

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