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SMK 보고서

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'편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2013.11.01
  • 조회수1957

특허명

편광판과 고속 푸리에 변환을 이용한 나노선 감지용 광학

나노분류

나노장비/기기

출원번호

10-2007-0061460

출원인

한국전자통신연구원, 고려대학교 산학협력단

본 발명은 나노선을 포함하는 전자 소자를 제작함에 있어, 기존의 광학 현미경 시스템을 이용할 수 있도록 회전 편광판과 고속푸리에 변환을 사용하여 나노선 감지용 광학 현미경 시스템을 고안한 것에 관한 것이다. 나노선의 광학적 이방성으로 인하여 나노선에 입사하는 빛의 편광 방향에 따라 반사광의 세기가 변화한다. 일정한 주기로 회전하는 편광판을 통과한 광원을 나노선에 입사한 후 반사광 이미지를 일정 시간 간격으로 얻은 후 영상을 각 픽셀별로 고속푸리에 변환 처리함으로 나노미터 선폭을 갖는 나노선의 영상을 뚜렷하게 얻을 수 있다.

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