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SMK 보고서

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'초정밀 리니어 스테이지의 운동오차 측정방법 및 측정시스템'에 대한 전략가이드

  • 작성자나노인
  • 등록일 2013.10.24
  • 조회수2186

특허명

초정밀 리니어 스테이지의 운동오차 측정방법 및 측정시스템

나노분류

나노장비/기기

출원번호

10-2008-0109983

출원인

한양대학교 산학협력단

본 발명은 직선운동을 하는 리니어 스테이지의 오차를 측정하는 방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 여러 개의 측정값을 통해 오차를 간접적으로 측정하는 방법에 관한 것이다. 리니어 스테이지의 오차를 간접적으로 측정하는 방법을 이용함으로써 단일의 측정 시스템만으로 모든 오차를 측정할 수 있고, 측정 시스템의 설치 및 조작이 간편하며, 측정된 오차의 정확성을 평가할 수 있는 방법이 마련되는 효과가 있다.

전체별점 5점 중 5점

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