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'접촉형 원자간력 현미경에 공급되는 구형파의 지속 시간및 진폭을 조절하는 장치 및 방법'에 대한 전략가이드

작성자 나노인

등록일 2013.10.17

조회수 1057

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특허명 접촉형 원자간력 현미경에 공급되는 구형파의 지속 시간및 진폭을 조절하는 장치 및 방법 나노분류 나노장비/기기
출원번호 10-2002-0005360 출원인 학교법인 한양학원
본 발명은 나노 리소그래피(nano-lithography)를 수행하는 접촉형 원자간력 현미경(Contact ode Atomic Force Microscope)에 구형파의 입력 신호를 공급하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 구체적으로 입력된 구형파의 하이(high) 신호 구간의 지속시간을 소정의 값으로 조절하는 지속시간(duration time) 조절 수단 및 상기 구형파의 하이 신호 구간의 전압을 소정의 값으로 증폭하는 진폭 조절 수단을 포함하는 장치 및 상기 장치를 이용하여 입력 신호를 공급하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치 및 방법에 의해서 비접촉형 원자간력 현미경을 이용하여 좀 더 정밀한 나노 리소그래피를 수행할 수 있게 된다.

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